SECS/GEM & InterfaceA (EDA)

SEMI Standard

SECS/GEM-Schnittstellen stellen eine branchenspezifische Integrationsschicht für die Halbleitertechnik, PV, LED, Flat Panel und Elektronikproduktion dar. Dabei realisieren SECS/GEM-Schnittstellen die Verbindung zwischen der Anlage und der übergeordneten Ebene (MES oder Cell Controller). Über SECS/GEM werden Produktions- und Anlagendaten, Alarme, Prozesswerte, Prozessparameter etc. übergeben.

Langjährige Erfahrung sind die Grundlage für die AIS SECS/GEM-Lösungen FabLink, welche weltweit von Anlagenbauern genutzt wird.

Interface A (EDA)

Interface A bzw. EDA (Equipment Data Acquisition) ist ein zusätzlicher Schnittstellen-Standard in der Halbleiterindustrie. Moderne EES-Applikationen (Equipment Engineering Systems) wie APC (Advanced Process Control) und Monitoring-Systeme benötigen große Mengen an Equipment- und Prozessdaten, die über EDA übergeben werden können.

Interface A setzt auf die Softwaretechnologie XML über SOAP/WebSevices. Grundlage für EDA ist der im SEMI-Standard E120 (Common Equipment Model) beschriebene Aufbau der Anlage und die darauf basierende Selbstbeschreibung (SEMI E125 Equipment Self Description). EDA stellt eine zweite Anlagen-Schnittstelle neben dem bereits existierenden SECS/GEM-Standard dar.

Wir bieten Ihnen vollständige EDA-Lösungen für Ihre Anlagensteuerung über die FabLink als auch Lösungen für Ihre Fabrik-IT.

Maschinen und Anlagen-Integration

Neben der Umsetzung von standardisierten Schnittstellen realisiert die AIS Anbindungen zu MES- und IT-Sytemen. Mehr Informationen dazu finden Sie unter Integrationslösungen.

Ihr Ansprechpartner

Frank Geißler
Director Sales

Fon: +49 (0) 351 2166 1577
Fax: +49 (0) 351 2166 3577

 

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