Batchanlagen in der Vakuumtechnik

Einkammer- / Batch-Anlagen sind die am meisten genutzten Anlagen in der Vakuumtechnik. Im Unterschied zu Inline-Anlagen oder Prozessclustern werden hier alle Prozessschritte (Vorbehandlung, Beschichtungsprozesse, Nachbehandlung) sequentiell abgearbeitet.

Unsere Steuerung auf Basis des AIS Steuerungsframework ToolCommander®  bietet ein übersichtliches grafisches Benutzerinterface mit einer einfachen und intuitiven Bedienung. Im Automatik-Mode werden die Prozessrezepte vollautomatisch abgearbeitet und protokolliert. Ein integrierter Handbetrieb erfolgt die Parametrierung der einzelnen Anlagenkomponenten (Pumpen, MFCs, Netzteile usw.) und deren Einzelbedienung. Im Service-Mode bietet eine interne Systemdiagnose und die Servicebedienung der einzelnen digitalen und analogen Ein- und Ausgänge.

Für die Rezepterstellung stehen je nach Kundenwunsch feste Rezeptmasken (vorzugsweise bei Produktionsanlagen) oder grafische Editoren für die freie Erzeugung von Prozessrezepten zur Verfügung. Alle Prozesswerte werden in einer Datenbank gespeichert. Die Prozesswerte (z.B. Temperatur) stehen im Trend für die laufende Überwachung oder eine spätere Auswertung zur Verfügung. Die Prozessdokumentation erfolgt über ein Chargenprotokoll.

Durch die komponentenbasierte Struktur ist unser Steuerungssystem technologieunabhängig und kann preisgünstig an alle Anforderungen angepasst werden.

In jedem Fall ist unser System auf die Anforderungen vorbereitet:

  • für Einzelschichten (z.B. dekorative Schichten) oder Mehrschichtsysteme in der optischen Industrie,
  • für unterschiedlichste Technologien (Widerstandsverdampfer, Elektronenstrahlverdampfer, Sputtern, Plasmaätzen usw.)
  • für vielfältige Prozessabläufe
  • für die Anbindung von unterschiedlichem Anlagen verschiedenster Hersteller

Ihr Ansprechpartner

Frank Geißler
Director Sales

Fon: +49 (0) 351 2166 1577
Fax: +49 (0) 351 2166 3577

 

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