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Herstellung lateraler Gradienten-Schichtsysteme - AIS unterstützt beim "TopBePro"

© Fraunhofer FEP

Unter der Leitung des Fraunhofer FEP ging es im Forschungsprojekt "TopBePro" darum, ein neues Verfahren für die Herstellung lateraler Gradienten-Schichtsysteme zu entwickeln. Ziel dieser Forschungen ist es, angepasste optische Schichtsysteme für Anwendungen mit variablem Licht-Einfallswinkel herzustellen. Besonders herausfordernd waren die komplexen Anforderungen an die Beschichtungsanlage. Im Ergebnis haben die Wissenschaftler nun erreicht, dass unterschiedliche Komponenten (Präzisionsantrieb, Beschichtungsquellen, Stromversorgung) zeitlich sehr genau angesteuert werden können.

Die AIS hat als wichtige Grundlage für die Projektarbeit zunächst ein Programm zur Vermessung von Materialrateprofilen von Sputterquellen entwickelt. Darauf aufbauend erfolgte durch aufwändige mathematische Modellierung unter Einflussnahme verschiedener Prozessparameter die Berechnung von Beschichtungsprofilen auf frei konfigurierbaren Substratformen. Das zu erwartende Ergebnis wird dem Anwender sehr anschaulich in einer leistungsstarken 3D-Darstellung präsentiert.

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